[实用新型]一种阴极镀膜工装有效
申请号: | 201520550734.7 | 申请日: | 2015-07-28 |
公开(公告)号: | CN204999968U | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 邓清东;宋田英;贺兆昌;张丽 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 241002 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种阴极镀膜工装,其特征在于:包括基座和底盘,所述基座为带有底盘安装孔的筒形结构,所述底盘为倒凸台形结构,所述底盘安装在所述底盘安装孔中,底盘上开设有多个与镀膜阴极尺寸对应的通孔。本实用新型既能保障阴极镀膜的质量,又因为具有很大的通用性,大大降低更换工装和加工工装的成本,间接的为企业带来经济效益。 | ||
搜索关键词: | 一种 阴极 镀膜 工装 | ||
【主权项】:
一种阴极镀膜工装,其特征在于:包括基座和底盘,所述基座为带有底盘安装孔的筒形结构,所述底盘为倒凸台形结构,所述底盘安装在所述底盘安装孔中,所述底盘上开设有多个与镀膜阴极尺寸对应的通孔。
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