[实用新型]一种单晶炉真空泵废油收集系统有效
| 申请号： | 201520609234.6 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204851592U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张明亮;赵险峰;王松涛;司鹏辉 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00;C30B15/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种单晶炉真空泵废油收集系统，包括气动隔膜泵、废油桶和废油收集管道，废油收集管道通过若干支管道分别与每个真空泵的放油口连接，并通过废油输送管道与气动隔膜泵的进口连接，气动隔膜泵的出口通过排油管与废油桶连接。本实用新型通过采用气动隔膜泵、废油收集管道和若干支管道，实现了利用气动隔膜泵将真空泵中的废油自动抽送到废油桶内储存，避免人为更换泵油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低更换废油过程对人体和环境的伤害、污染；同时，采用特殊的连接软管进行连接，能够克服真空泵运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空泵 废油 收集 系统 | ||
【主权项】：
一种单晶炉真空泵废油收集系统，其特征在于：包括气动隔膜泵（8）、废油桶（10）和废油收集管道（2），其中，废油收集管道（2）通过若干支管道（3）分别与每个真空泵（1）的放油口连接，并通过废油输送管道（7）与气动隔膜泵（8）的进口连接，气动隔膜泵（8）的出口通过排油管（9）与废油桶（10）连接，在每条支管道（3）上均设置有阀门Ⅰ（4），在废油输送管道（7）上设置阀门Ⅱ（6），在排油管（9）和气动隔膜泵（8）的压缩空气管道（11）上分别设置有控制阀。
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