[实用新型]一种多驱动腔非共轴真空泵

摘要

本实用新型公开了一种多驱动腔非共轴真空泵，多个真空驱动腔串联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置一对独立的转子，第一级真空驱动腔的入口直通大气，所述多个非共轴真空驱动腔均采用独立的驱动电机驱动。由于多个真空驱动腔采用非共轴设计，使得多级真空腔可以灵活布置；使气流中粉尘不易停留和阻塞真空泵；使真空泵的容积效率远高于螺杆泵，超过50%；使抽气量可以大于任何现行干式真空泵；使腐蚀真空泵抽气能力影响小于螺杆泵；使得各真空驱动腔的压缩比可以调节，可以做到在高真空环境下，压缩比大，而在粗真空环境下，压缩比小，从而可以兼顾安全与效率，达到优化可控，使每一级的压差分担和热量分担更加均匀。

主权项

一种多驱动腔非共轴真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置一对独立的转子，其特征在于所述多个真空驱动腔的气量主流方向与转子驱动轴形成垂直或30~90度大夹角，第一级真空驱动腔的入口直通大气，所述多个真空驱动腔全部或部分不共轴, 所有不共轴的真空腔均采用独立的驱动电机驱动，所述多个真空驱动腔从上至下依次叠放成串联连接的多级真空驱动腔，下一级真空驱动腔的吸入口与上一级真空驱动腔的排气口连接，每级真空驱动腔的吸入口均位于上方，排气口均位于下方，真空驱动腔的两侧分别设有冷却水腔，每一个真空驱动腔的下方还设置一个夹套水层。