[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201520654653.1 申请日: 2015-08-27
公开(公告)号: CN204898122U 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 王增林 申请(专利权)人: 宁夏金海金晶光电产业有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 郑自群
地址: 753000 宁夏回族自治*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、坩埚、真空装置、加热装置、支撑板、升降装置;所述炉体包括上炉体和下炉体;所述下炉体内设有保温层,所述保温层内设置有所述加热装置;所述下炉体内还设有2个以上的所述升降装置,所述升降装置上设有所述支撑板,所述支撑板上设有所述坩埚;所述真空装置设于所述下炉体一侧,并与所述下炉体通过真空管路连接。本实用新型中升降装置的设置便于坩埚上升、下降,使得在下炉体内完成长晶、退火阶段后,进入上炉体,再进行冷却,从而得到多晶硅铸锭。本实用新型通过在保温层安装电极,使得下炉体内温度均匀,消除了盲区,避免了矿石资源的浪费,同时降低了能耗。
搜索关键词: 一种 多晶 铸锭
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:包括炉体、坩埚、真空装置、加热装置、支撑板、升降装置;所述炉体包括上炉体和下炉体;所述下炉体内设有保温层,所述保温层内设置有所述加热装置;所述下炉体内还设有2个以上的所述升降装置,所述升降装置上设有所述支撑板,所述支撑板上设有所述坩埚;所述真空装置设于所述下炉体外,并与所述下炉体通过真空管路连接。
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