[实用新型]一种用于直写曝光机的UVLED阵列光源收集利用装置

摘要

本实用新型涉及一种用于直写曝光机的UVLED阵列光源收集利用装置，与现有技术相比解决了针对UVLED发光芯片无法进行光源收集利用的缺陷。本实用新型的UVLED发光芯片前均放置有收集透镜，收集透镜前均放置有曲面复眼，UVLED发光芯片的光源经收集透镜成像于曲面复眼上，曲面复眼前放置有倍率缩小镜头组，倍率缩小镜头组前放置有匀光棒，曲面复眼射出的光线经倍率缩小镜头组成像于匀光棒的入射端口，匀光棒前放置有倍率放大镜头组，匀光棒出光端口射出的光线经倍率放大镜头组成像于DMD芯片表面。本实用新型能够将UVLED阵列子光源收集，进行匀光整形后，成像于DMD表面。

主权项

一种用于直写曝光机的UVLED阵列光源收集利用装置，包括UVLED发光芯片（1），其特征在于：所述的UVLED发光芯片（1）前均放置有收集透镜（2），收集透镜（2）前均放置有曲面复眼（3），UVLED发光芯片（1）、收集透镜（2）和曲面复眼（3）的数量均为若干个，UVLED发光芯片（1）的光源经收集透镜（2）成像于曲面复眼（3）上，曲面复眼（3）前放置有倍率缩小镜头组（4），倍率缩小镜头组（4）前放置有匀光棒（7），曲面复眼（3）射出的光线经倍率缩小镜头组（4）成像于匀光棒（7）的入射端口，匀光棒（7）前放置有倍率放大镜头组（8），倍率放大镜头组（8）前放置有DMD芯片（11），匀光棒（7）出光端口射出的光线经倍率放大镜头组（8）成像于DMD芯片（11）表面。