[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置有效

专利信息
申请号: 201520691204.4 申请日: 2015-09-09
公开(公告)号: CN204945618U 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 曹常瑜 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 合肥天明专利事务所 34115 代理人: 张祥骞;奚华保
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置,与现有技术相比解决了无法在曝光过程中对PCB板进行除尘的缺陷。本实用新型的右纵向运动支架包括垂直固定安装在固定板上的纵向滑座板,滑块安装在纵向滑座板上且与纵向滑座板构成滑动配合,滑块上设有固定圈,轴承的外圈固定安装在固定圈上,右滚筒架固定安装在轴承的内圈上,限位板安装在纵向滑座板上且位于滑块的上方,螺钉插在限位板上且与限位板构成滑动配合,螺钉的下端固定安装在滑块上,螺钉上套有纵向弹簧,纵向弹簧位于限位板与滑块之间。本实用新型不仅使得除尘工作实现非人工化处理,并且在曝光过程中依然可以对PCB板进行除尘作业。
搜索关键词: 一种 用于 激光 曝光 自动 装置
【主权项】:
一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置,包括机台(5),机台(5)上安装有支撑平台(6),支撑平台(6)上安装有曝光机头组(4),其特征在于:还包括自粘尘组件(1)和固定板(7),固定板(7)固定安装在支撑平台(6)的侧部且位于曝光机头组(4)前部面板的下方,自粘尘组件(1)安装在固定板(7)上;自粘尘组件(1)包括左纵向运动支架(8)和右纵向运动支架(9),左纵向运动支架(8)与右纵向运动支架(9)两者结构相同,左滚筒架(18)安装在左纵向运动支架(8)上,右滚筒架(19)安装在右纵向运动支架(9)上,左滚筒架(18)和右滚筒架(19)之间安装有粘尘滚(20);右纵向运动支架(9)包括垂直固定安装在固定板(7)上的纵向滑座板(11),滑块(12)安装在纵向滑座板(11)上且与纵向滑座板(11)构成滑动配合,滑块(12)上设有固定圈(13),轴承(14)的外圈固定安装在固定圈(13)内,右滚筒架(19)固定安装在轴承(14)的内圈上,限位板(15)安装在纵向滑座板(11)上且位于滑块(12)的上方,螺钉(16)插在限位板(15)上且与限位板(15)构成滑动配合,螺钉(16)的下端固定安装在滑块(12)上,螺钉(16)上套有纵向弹簧(17),纵向弹簧(17)位于限位板(15)与滑块(12)之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备有限公司,未经合肥芯碁微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201520691204.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top