[实用新型]镀膜装置及其载具有效
申请号: | 201520714007.X | 申请日: | 2015-09-15 |
公开(公告)号: | CN204959032U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 王佩然;张松;夏世伟;张为国;刘成法;刘超;季海晨 | 申请(专利权)人: | 上海大族新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/513 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何冲 |
地址: | 201615 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种镀膜装置及其载具,该载具包括本体和容纳结构,所述本体上开设有第一开口、第二开口以及第一空腔,所述第一开口和所述第二开口分别与所述第一空腔连通,且所述第一开口和所述第二开口相对;所述容纳结构设置在所述第一空腔内,所述容纳结构包括第三开口、第四开口以及第二空腔,所述第三开口和所述第四开口分别与所述第二空腔连通,所述第三开口和所述第四开口相对,所述第二空腔的横截面的形状与所述工件的形状相适配;从所述第三开口到所述第四开口的方向上,所述第二空腔的横截面的面积逐渐减少,且所述第四开口的面积小于所述工件的最大横截面的面积。上述载具及镀膜装置,不仅能有效地防止绕镀现象,还简化了制作工艺。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 装置 及其 | ||
【主权项】:
一种载具,用于工件镀膜,其特征在于,所述载具包括:本体,所述本体上开设有第一开口、第二开口以及第一空腔,所述第一开口和所述第二开口分别与所述第一空腔连通,且所述第一开口和所述第二开口相对;容纳结构,所述容纳结构设置在所述第一空腔内,所述容纳结构包括第三开口、第四开口以及第二空腔,所述第三开口和所述第四开口分别与所述第二空腔连通,所述第三开口和所述第四开口相对所述第二空腔的横截面的形状与所述工件的形状相适配;从所述第三开口到所述第四开口的方向上,所述第二空腔的横截面的面积逐渐减少,且所述第四开口的面积小于所述工件的最大横截面的面积。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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