[实用新型]用于保护芯片选择性部分的刚性掩模有效
| 申请号： | 201520715062.0 | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN205313517U | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | A·布拉曼蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C12M1/00 | 分类号： | C12M1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种刚性掩模(10)，用于保护用于生化反应的芯片(1)的选择性部分，芯片包括多个井(5)，所述刚性掩模包括：支撑部分(12)；以及多个支腿(14)，每个支腿均设置有刚性芯柱(14a)和板(14b)。支腿(14)以与井(5)的空间布置呈镜面反射的方式相对于支撑部分(12)固定地布置，并且以以下方式配置：当每个支腿(14)插入到对应的井(5)中时，相应板(14b)至少部分地覆盖井的底部，从而在井的侧壁的化学/物理处理期间保护所述底部。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 保护 芯片 选择性 部分 刚性 | ||
【主权项】：
一种刚性掩模(10)，其特征在于，用于在用于生化反应的芯片(1)的化学/物理处理期间保护所述芯片(1)的选择性部分，其中所述芯片包括多个井(5)，所述生化反应在所述井处发生，所述井具有底部(17)并且根据图案进行布置，所述刚性掩模(10)此外在至少第一方向(Z)上相对于所述芯片(1)是活动的，并且所述刚性掩模包括：‑支撑部分(12)；以及‑多个支腿(14)，每个支腿均设置有刚性芯柱(14a)和板(14b)，所述刚性芯柱具有固定至所述支撑部分的第一端以及固定至所述板的第二端，其中所述支腿(14)根据所述图案而固定至所述支撑部分(12)并且以以下方式配置：当每个所述支腿(14)插入在对应的井(5)中时，相应的板(14b)至少部分地覆盖所述井的底部，从而在所述化学/物理处理期间提供保护。
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