[实用新型]一种磁控溅射镀膜用的平面阴极

摘要

本实用新型涉及磁控溅射装置领域，特别涉及一种磁控溅射镀膜用的平面阴极。本实用新型的一种磁控溅射镀膜用的平面阴极包括溅射靶、靶套、真空腔体、绝缘座、阴极座、铜背板、可调磁极板和基片架。在本实用新型中，通过采用全水冷的方式对铜背板进行冷却，在生产过程中可以最大化的带走溅射产生的热量；而且还通过采用可调磁极板全水冷的方式进行磁极板冷却，因此磁场的稳定性强，可以长期保持磁场的稳定性；另外，各部件的结合处采用静密封，密封效果好，有效地防止了漏水、漏气和阴极短路现象的发生，减少了维修成本，使得本实用新型使用寿命增长。本实用新型溅射靶利用率高、溅射沉积均匀、阴极冷却效果好。

主权项

一种磁控溅射镀膜用的平面阴极，其特征在于，包括溅射靶、靶套、真空腔体、绝缘座、阴极座、铜背板、可调磁极板、基片架，所述靶套通过第一真空密封圈与所述真空腔体密封连接；所述绝缘座通过第二真空密封圈与所述靶套连接；所述阴极座通过第三真空密封圈与所述绝缘座连接；所述铜背板通过第四真空密封圈与所述阴极座连接；所述阴极座与所述铜背板之间形成冷却水腔；所述溅射靶固定在所述铜背板上；所述可调磁极板固定在所述冷却水腔内，所述可调磁极板与所述基片架连接。