[实用新型]一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置有效
| 申请号： | 201520811434.X | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN205035486U | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 孙昊;刘铮;涂颂昊;郝大维;王遵义;刘琨;郭宝川;张雪囡;由佰玲;王彦君 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 陈雅洁 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，包括外接压缩空气管道、内接压缩空气管道和清炉气盘，所述清炉气盘为一圆盘，所述圆盘一端面上设置有进气口，另一端面设置有若干个均匀分布的气孔，所述清炉气盘设置气孔的一端与炉体上设置的轴体一端固定连接，所述内接压缩空气管道一端与所述进气口相连，另一端固定在炉体上，所述外接压缩空气管道一端在所述炉体上与所述内接压缩空气管道相连，另一端与气源相连。本实用新型所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置结构简单，操作方便，可快速清炉，提高了工时利用率，从而提高了产能，降低了成本，且清炉较彻底，为单晶品质的提升提供了基础保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 区熔硅单晶炉 拆装 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，其特征在于：包括外接压缩空气管道(3)、内接压缩空气管道(2)和清炉气盘(1)；所述清炉气盘(1)位于炉体内部，所述清炉气盘(1)为一圆盘，所述圆盘一端面上设置有进气口，另一端面上设置有若干个均匀分布的气孔(11)，所述进气口与所述气孔(11)相连通，所述清炉气盘(1)设置气孔(11)的一端与炉体上设置的轴体一端固定连接；所述内接压缩空气管道(2)一端与所述进气口相连，另一端固定在炉体上，所述外接压缩空气管道(3)设置于所述炉体外侧，所述外接压缩空气管道(3)一端在所述炉体上与所述内接压缩空气管道(2)相连，另一端与气源相连。
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