[实用新型]一种光刻胶涂布机有效
| 申请号： | 201520915802.5 | 申请日： | 2015-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN205091542U | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张俊余;吴金力;张满意;刘冲 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶涂布机。该光刻胶涂布机包括加热平台和起模顶杆，所述加热平台上设置有至少一个贯穿所述加热平台的通孔，所述起模顶杆可以在所述通孔内沿所述通孔延伸的方向进行升降运动，所述起模顶杆的基材接触端与所述通孔靠近所述加热平台工作侧的孔壁抵触。利用本实用新型提供的光刻胶涂布机，可以使得放置于加热平台上的基材受热均匀，避免出现基材在加热的过程中因受热不均匀而出现坏点的不良现象产生，提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶涂布机 | ||
【主权项】：
一种光刻胶涂布机，包括加热平台和起模顶杆，所述加热平台上设置有至少一个贯穿所述加热平台的通孔，所述起模顶杆可以在所述通孔内沿所述通孔延伸的方向进行升降运动，其特征在于，所述起模顶杆的基材接触端与所述通孔靠近所述加热平台工作侧的孔壁抵触。
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