[实用新型]一种新型多晶硅片清洗机

摘要

本实用新型公开了一种新型多晶硅片清洗机，包括清洗仓、沥水仓和干燥仓，清洗仓内中间横向设置轨道一，所述轨道一两侧设置喷雾喷头，喷雾喷头之间设置超声波发射器，沥水仓内设置轨道二，沥水仓内左侧上方设置干燥空气入口，干燥仓与沥水仓尺寸相同，干燥仓左侧下方设置干燥空气入口二，干燥仓与沥水仓中间设置挡板，所述挡板在轨道二通过处开有通道，本实用新型所述的新型多晶硅片清洗机，通过轨道一和轨道二的运作，将码放整齐的多晶硅片在清洗仓内清洗完成运送至沥水仓，沥水仓内设置干燥空气入口一，在自然沥水过程中加速水分蒸发，在干燥仓内设置干燥空气入口二，降低空气含水量，提高干燥速度，整个过程自动化完成，节约人力，减少人为的损坏。

主权项

一种新型多晶硅片清洗机，其特征在于：包括清洗仓、沥水仓和干燥仓，所述清洗仓内中间横向设置轨道一，所述轨道一两侧设置喷雾喷头，喷雾喷头之间设置超声波发射器，所述沥水仓位于清洗仓右侧，沥水仓内设置轨道二，沥水仓内左侧上方设置干燥空气入口，所述轨道二与轨道一宽度相同，轨道二与轨道一交界处设置PVC软帘，轨道二延伸至干燥仓出口，轨道二在沥水仓及干燥仓内为上下弯折设置，所述干燥仓位于沥水仓右侧，干燥仓与沥水仓尺寸相同，干燥仓左侧下方设置干燥空气入口二，干燥仓与沥水仓中间设置挡板，所述挡板在轨道二通过处开有通道。