[实用新型]一种用于基板显影的清洗装置有效
| 申请号： | 201520931213.6 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN205081102U | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 肖会华 | 申请（专利权）人： | 江西芯创光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 沈亚芳 |
| 地址： | 343100 江西省吉安市国家井*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于基板显影的清洗装置，它包括本体（1）和用于固定基板且可带动基板旋转的旋转夹具，本体（1）内设有可容置旋转夹具的容腔，所述旋转夹具包括用于容置基板且对基板周向限位的下夹具（2）和用于对基板上限位的上夹具（3），下夹具（2）与上夹具（3）可拆式连接；下夹具（2）上表面边缘沿周向设有若干个用于防止基板脱离下夹具（2）的限位凸块（4），限位凸块（4）之间有间隙；所述上夹具（3）中部设有可供清洗液穿过并对基板进行清洗的通孔（5），上夹具（3）下表面设有用于防止基板从下夹具（2）掉出的限位机构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显影 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种用于基板显影的清洗装置，它包括本体(1)和用于固定基板且可带动基板旋转的旋转夹具，本体(1)内设有可容置旋转夹具的容腔，其特征在于：所述旋转夹具包括用于容置基板且对基板周向限位的下夹具(2)和用于对基板上限位的上夹具(3)，下夹具(2)与上夹具(3)可拆式连接；下夹具(2)上表面边缘沿周向设有若干个用于防止基板脱离下夹具(2)的限位凸块(4)，限位凸块(4)之间有间隙；所述上夹具(3)中部设有可供清洗液穿过并对基板进行清洗的通孔(5)，上夹具(3)下表面设有用于防止基板从下夹具(2)掉出的限位机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西芯创光电有限公司，未经江西芯创光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520931213.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基板放置台
- 下一篇：一种新型的节能灯芯柱导线与线路板连接结构
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
