[实用新型]一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器有效
| 申请号： | 201520948040.9 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN205092834U | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李光健;乔世波 | 申请（专利权）人： | 北京北广科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/09 | 分类号： | H03H7/09 |
| 代理公司： | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 100000 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器，包括信号输入端口,信号输入端口依次串联有3阶高通LC滤波电路，3阶低通LC滤波电路，2阶低通LC滤波电路和信号输出端；信号输入端口的一端和信号输出端的一端均接地。本实用新型体积小、功率大、选频性能优异、带外抑制强、插入损耗和回波损耗小、可用于专用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 刻蚀 带通滤波器 | ||
【主权项】：
一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器，包括信号输入端口,其特征在于，信号输入端口依次串联有3阶高通LC滤波电路，3阶低通LC滤波电路，2阶低通LC滤波电路和信号输出端; 信号输入端口的一端和信号输出端的一端均接地。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北广科技股份有限公司，未经北京北广科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520948040.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光电脚踏感应装置
- 下一篇：高压导轨电源外壳
