[实用新型]多晶硅生产用石英坩埚喷涂台有效
| 申请号： | 201520951066.9 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205128267U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王勇 | 申请（专利权）人： | 浙江恒都光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B15/00 |
| 代理公司： | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 郑文涛 |
| 地址： | 314416 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，其包括设于可旋转底座上的喷涂平台，以及拌料装置和吸尘装置，所述吸尘装置包括吸尘通道和设于所述吸尘通道上的风机，所述吸尘通道的内端口为喇叭口，位于所述喷涂平台的正上方，且喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径。本实用新型中石英坩埚喷涂台的结构合理，通过设置吸尘装置，并将吸尘通道的内端口设计成喇叭口状，位于所述喷涂平台的正上方，且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径，这样一来，能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间，从而改善了喷涂车间的工作环境，有益于工作人员的身体健康。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 石英 坩埚 喷涂 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，包括设于可旋转底座上的喷涂平台(1)，以及拌料装置，其特征在于，还包括吸尘装置(2)，所述吸尘装置(2)包括吸尘通道(4)和设于所述吸尘通道(4)上的风机(5)，所述吸尘通道(4)的内端口为喇叭口(3)，位于所述喷涂平台(1)的正上方，且所述喇叭口(3)的口径大于所述喷涂平台(1)的外径。
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