[实用新型]定位装置有效
| 申请号： | 201521070919.4 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN205231032U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种定位装置，其用于承载并定位玻璃基板，其包括用于承接玻璃基板的基板载台及安装于基板载台上的两个静电吸盘，所述两个静电吸盘分别被施加正直流电压及负直流电压后，所述玻璃基板定位于基板载台。由于定位装置内具有安装于基板载台上的静电吸盘，通过静电吸盘使得玻璃基板与基板载台之间产生吸引力而将玻璃基板牢固定位于基板载台上，避免玻璃基板在基板载台的移动过程中发生偏移而造成玻璃基板碎片。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种定位装置，用于承载并定位玻璃基板，其特征在于：所述定位装置包括用于承接玻璃基板的基板载台及安装于基板载台上的静电吸盘，所述静电吸盘被施加直流电压后，所述玻璃基板定位于基板载台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201521070919.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
