[实用新型]一种半导体设备真空检测仪器有效
| 申请号： | 201521080387.2 | 申请日： | 2015-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN205352621U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 杨晓曼;赵玥起;张俊兰 | 申请（专利权）人： | 天津市盟习科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区高新区华*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及仪器仪表领域，具体涉及一种半导体设备真空检测仪器，它包括真空检测箱，所述真空检测箱左方设置有预真空箱，所述真空检测箱右方设置有分子泵，所述真空检测箱上端设置有高真空计，所述真空检测箱下端设置有电容真空计，所述分子泵通过前端阀门连接有干燥泵，所述干燥泵左端连接在真空检测箱上，所述干燥泵与真空检测箱之间设置有粗抽取阀门，减少能量的消耗，避免了外界的干扰，可以多次对设备进行检查，保证不会出现漏查的情况，克服了半导体设备真空疑难问题的及时检查难题，能很好的检查出半导体设备的泄露情况，保障了设备的正常使用与使用人员的安全，值得推广，整个仪器结构紧凑，设计原理简单，具有很好的实用意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 真空 检测 仪器 | ||
【主权项】：
一种半导体设备真空检测仪器，其特征在于：它包括真空检测箱，所述真空检测箱左方设置有预真空箱，所述真空检测箱右方设置有分子泵，所述真空检测箱上端设置有高真空计，所述真空检测箱下端设置有电容真空计，所述分子泵通过前端阀门连接有干燥泵，所述干燥泵左端连接在真空检测箱上，所述干燥泵与真空检测箱之间设置有粗抽取阀门。
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