[实用新型]负压搅拌式反应釜有效

专利信息
申请号: 201521099364.6 申请日: 2015-12-23
公开(公告)号: CN205235922U 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 刘玉岭;顾张冰;王娟 申请(专利权)人: 天津晶岭微电子材料有限公司
主分类号: B01J3/04 分类号: B01J3/04;B01J3/02
代理公司: 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 代理人: 杨红
地址: 300130 天津市南开*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及一种负压搅拌式反应釜,包括筒体和上、下封头构成整体反应釜结构,其特征是:所述上封头设有真空泵接口,所述下封头设有气流喷射口,所述下封头纵向截面形状呈椭圆形,所述下封头上方间隔固接有曲面挡板,所述曲面挡板与筒体及下封头形成的角壁之间构成气流引导区。有益效果:与现有技术相比,本实用新型负压搅拌式反应釜,在反应釜内部没有搅拌桨搅拌,采用内部抽真空的方式形成负压,使内部自行产生涡流搅拌,并在底部安装一个侧壁喷气的曲面挡板,抛光液在调节pH值时,通过高速的气流破环了侧壁和角壁上滞留层的形成,并阻止凝胶现象产生。
搜索关键词: 搅拌 反应
【主权项】:
一种负压搅拌式反应釜,包括筒体和上、下封头构成整体反应釜结构,其特征是:所述上封头设有真空泵接口,所述下封头设有气流喷射口,所述下封头纵向截面形状呈椭圆形,所述下封头上方间隔固接有曲面挡板,所述曲面挡板与筒体及下封头形成的角壁之间构成气流引导区。
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