[实用新型]曝光机的UV能量调整装置有效
| 申请号： | 201521099414.0 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN205229668U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王启毓;张永裕 | 申请（专利权）人： | 志圣工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 刘云贵;王东 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种曝光机的UV能量调整装置，包含UV能量传感器及移动机构，移动机构驱动UV能量传感器移动，UV能量传感器感测曝光机的平面光源的UV-LED的照射能量，UV-LED用以照射曝光对象；UV能量调整部，连接UV-LED、UV能量传感器及移动机构以调整UV-LED的照射能量为相同。因此，本实用新型可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 uv 能量 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光机的UV能量调整装置，其特征在于，包含：UV能量感测部，其具有UV能量传感器及至少一个移动机构，该移动机构驱动该UV能量传感器移动，该UV能量传感器用以感测该曝光机的平面光源的多个UV‑LED的照射能量，上述UV‑LED用以照射曝光对象；以及UV能量调整部，其连接上述UV‑LED、该UV能量传感器及该移动机构，以调整上述UV‑LED的照射能量为相同。
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