[实用新型]一种靶材涂铟加热平台有效
| 申请号： | 201521123024.2 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205385619U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 梁国雄 | 申请（专利权）人： | 广州市番禺科进超声波设备厂 |
| 主分类号： | H05B3/42 | 分类号： | H05B3/42 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 511452 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种靶材涂铟加热平台，所述靶材涂铟过程是指将铟金属融化后涂布在靶材表面。所述加热平台包括不锈钢框架，柜体部分，以及安装在不锈钢框架上部的加热平台；所述加热平台采用高密度的铝合金板材压铸成型；所述加热平台采用的发热管采用精密工艺制造的单头出线发热管，发热管与平台铝板的均匀分布的插孔配合。由于以往靶材涂铟平台表面粗燥、整体易变形、发热管不能更换、平台表面温差大，本实用新型平台采用压铸成型高密度的铝合金板材，采用均匀分布的可更换单头出线发热管，改进了传统加热平台的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材涂铟 加热 平台 | ||
【主权项】：
一种靶材涂铟加热平台，其特征在于：包括不锈钢框架（1）、柜体部分（2）和安装在不锈钢框架（1）上部的加热平台（3）；所述加热平台（3）上设有孔，孔内装有发热管（9）。
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