[实用新型]一种光刻胶喷头的自动清洗装置有效
| 申请号： | 201521127452.2 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205341179U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安;翟继鑫 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05B15/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;徐鹏飞 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶喷头的自动清洗装置；其包括清洗箱，所述清洗箱上部设置有清洗槽，所述清洗槽底部设置有检测光刻胶喷头位置的位置传感器、根据所述位置传感器的检测信号开启或关断动力泵的控制器，所述自动清洗装置还包括位于所述清洗箱的内腔的清洗液储存箱和冲洗管，所述动力泵的一端连接所述清洗液储存箱，另一端连接所述冲洗管，所述冲洗管的出液口连接所述清洗槽；该装置可以自动对光刻胶喷头进行冲洗，减少光刻胶在喷涂过程中引入的结晶杂质对光刻工艺造成的不良影响，提高光刻工艺的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 喷头 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶喷头的自动清洗装置，包括清洗箱，其特征在于，所述清洗箱上部设置有清洗槽，所述清洗槽底部设置有检测光刻胶喷头的位置的位置传感器、根据所述位置传感器的检测信号开启或关断动力泵的控制器，所述自动清洗装置还包括位于所述清洗箱的内腔的清洗液储存箱和冲洗管，所述动力泵的一端连接所述清洗液储存箱，另一端连接所述冲洗管，所述冲洗管的出液口连接所述清洗槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡宏纳科技有限公司，未经无锡宏纳科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201521127452.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抽油杆防腐淋漆设备
- 下一篇：一种自动点胶装置
