[实用新型]一种单晶炉加热系统

摘要

本实用新型的目的是提供一种单晶炉加热系统，本实用新型的技术方案为：由内到外依次包括坩埚、辅助加热系统、加热套和保温罩，所述坩埚内壁涂有防止熔硅腐蚀的保护涂层，所述坩埚外部设置有加热套，所述加热套为敞口结构、上窄下宽的石墨加热条，所述加热套与坩埚之间设置有辅助加热系统，所述辅助加热系统上部设置有圆环形的加热板，所述加热板圆环内对称位置各设置有一个杂质加料口。保温罩底部一侧设置有抽真空和充保护气的气体出入口。本实用新型的有益效果在于：在坩埚内涂有防止熔硅腐蚀的保护涂层，防止坩埚引入杂质；在加热套内部设置保温罩，补偿加热，减少由于晶体成型造成的纵向温差。

主权项

一种单晶炉加热系统，其特征在于：由内到外依次包括坩埚、辅助加热系统、加热套和保温罩，所述坩埚内壁涂有防止熔硅腐蚀的保护涂层，所述坩埚底部设置有拖杆底座，所述拖杆底座与拖杆固定连接，所述拖杆外周设置有拖杆护套，所述坩埚外部设置有加热套，所述加热套为敞口结构、上窄下宽的石墨加热条，所述加热套与坩埚之间设置有辅助加热系统，所述辅助加热系统上部设置有圆环形的加热板，所述加热板圆环内对称位置各设置有一个杂质加料口。保温罩底部一侧设置有抽真空和充保护气的气体出入口。