[实用新型]真空机械手传动装置

摘要

本实用新型公开了一种真空机械手传动装置，包括磁流体动密封、机械手臂及齿轮传动机构，通过转动马达驱动第一齿轮、第二齿轮转动，联动磁流体动密封的旋转轴，带动摆杆底座转动；通过移动马达驱动联动磁流体动密封的中心轴上端的第三齿轮转动，间接驱动滚珠丝杠旋转，来驱动机械手臂移动；实际运行过程中，通过手动或自动精确控制转动马达或移动马达，来实现机械手臂的精确定位，可以使镀膜工件和靶材在系统各个真空室之间转运，且旋转中心位于中间，旋转半径缩小一半，适用于多种镀膜机的工件传运。

主权项

真空机械手传动装置，包括转动马达、移动马达和机械手臂，其特征在于：转动马达的输出轴与第一齿轮连接，第一齿轮与第二齿轮啮合，第二齿轮与磁流体动密封的旋转轴下端固定连接，磁流体动密封的旋转轴上端固定在摆杆底座上；移动马达的输出轴与磁流体动密封的中心轴下端连接，磁流体动密封的中心轴的上端具有第三齿轮，第三齿轮与第四齿轮啮合，第四齿轮通过第一连接杆与第五齿轮连接，第五齿轮与第六齿轮啮合，所述的第六齿轮固定在滚珠丝杠的一端，滚珠丝杠可转动地固定在摆杆底座上，滚珠丝杠上有滑轮，滑轮与机械手臂固定。