[发明专利]运送装置以及真空装置

摘要

本发明提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中，使定位作业容易，提高基板运送之际的通过量的技术。本发明具备以旋转轴为中心同心状地配置、并设置成能够在水平面内分别独立地旋转的第1以及第2伸缩驱动轴（11、12），和第1以及第2回转驱动轴（15、16）。第1以及第2运送机构隔着旋转轴配置在运送物运送方向的两侧，被第1以及第2伸缩驱动轴（11、12）驱动而伸缩，将运送物沿着运送物运送方向运送。第1以及第2运送机构通过第1以及第2回转驱动部件（31、32）以旋转轴为中心分别微小地回转。

主权项

一种运送装置，具备：第1以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第1以及第2运送机构伸缩；第1以及第2回转驱动轴，与前述第1以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第1以及第2运送机构回转；前述第1运送机构被前述第1伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第1运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第1以及第2运送机构具有第1以及第2回转驱动部件，分别被前述第1以及第2回转驱动轴驱动，使该第1以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心向顺时针方向或逆时针方向回转，前述第1运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，令前述第1以及第2回转驱动部件以前述旋转轴为中心分别回转，从而令前述第1以及第2运送机构离开并且接近，调整前述第1以及第2运送部的间隔。