[发明专利]Ag合金膜及Ag合金膜形成用溅射靶有效
| 申请号： | 201580002653.6 | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105793449B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 野中庄平;小见山昌三;岁森悠人 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C22C5/06 | 分类号： | C22C5/06;C23C14/34;H01B1/02;H01B5/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 康泉,王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 该Ag合金膜含有0.1质量％以上且1.5质量％以下的In、1质量ppm以上且50质量ppm以下的Cu，剩余部分由Ag及不可避免的杂质构成。该溅射靶含有0.1质量％以上且1.5质量％以下的In、1质量ppm以上且50质量ppm以下的Cu，剩余部分由Ag及不可避免的杂质构成，且氧浓度小于50质量ppm，溅射面的面积为0.25m2以上，Cu的面内浓度分布DCu(＝(σCu/μCu)×100)为40％以下。 | ||
| 搜索关键词： | ag 合金 形成 溅射 | ||
【主权项】：
一种Ag合金膜，其特征在于，具有如下组成：由0.1质量％以上且1.5质量％以下的In、1质量ppm以上且50质量ppm以下的Cu、0.5质量ppm以上且20质量ppm以下的Ca、以及剩余部分的Ag及不可避免的杂质构成。
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