[发明专利]分光器及分光器的制造方法有效
申请号: | 201580007240.7 | 申请日: | 2015-02-03 |
公开(公告)号: | CN105960579B | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 能野隆文;柴山胜己 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/18;G01J3/36 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 分光器(1A)具备光检测元件(20),其设置有光通过部(21)及光检测部(22);支撑体(30),其以在与光通过部(21)及光检测部(22)之间形成空间(S)的方式固定于光检测元件(20);第1反射部(11),其设置于支撑体(30),且在空间(S)中,将通过光通过部(21)的光(L1)反射;第2反射部(12),其设置于光检测元件(20),且在空间(S)中,将由第1反射部(11)反射的光(L1)反射;以及分光部(40),其设置于支撑体(30),且在空间(S)中,将由第2反射部(12)反射的光(L1)相对于光检测部(22)进行分光并反射。 | ||
搜索关键词: | 分光 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种分光器,其特征在于,具备:光检测元件,其设置有光通过部及光检测部;支撑体,其以在与所述光通过部及所述光检测部之间形成空间的方式固定于所述光检测元件;第1反射部,其设置于所述支撑体,且在所述空间中,将通过了所述光通过部的光反射;第2反射部,其设置于所述光检测元件,且在所述空间中,将由所述第1反射部反射的光反射;以及分光部,其设置于所述支撑体,且在所述空间中,将由所述第2反射部反射的光相对于所述光检测部进行分光并反射,所述分光部设置于形成于所述支撑体的凹部的内面。
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