[发明专利]准直评价装置和准直评价方法有效
| 申请号： | 201580041372.1 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106662486B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 奥间惇治;伊崎泰则 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02;G01B9/02;G01M11/00 |
| 代理公司： | 11322 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨琦<国际申请>=PCT/JP2015/ |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 第一反射部件(10)在透过第二反射部件(20)的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(11)反射，使该光中透过第一反射面(11)的光在第二反射面(12)反射，使这些反射光成分向相反方向射出。第二反射部件(20)在从第一反射部件(10)射出的光入射时，使该光的一部分在第一反射面(21)反射，使该光中透过第一反射面(21)的光在第二反射面(22)反射，使这些反射光成分射出。利用在第一反射部件(10)的第一反射面(11)和第二反射部件(20)的第二反射面(22)反射的光(L12)与在第一反射部件(10)的第二反射面(12)和第二反射部件(20)的第一反射面(21)反射的光(L21)，在屏(30)上形成干涉条纹。由此，能够实现即使光的可干涉距离短时也能够更高灵敏度地评价该光的准直的装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 评价 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种准直评价装置，其特征在于：/n具有：/n第一反射部件，具有使入射光的一部分反射的第一反射面和使该入射光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面；和/n第二反射部件，具有使从所述第一反射部件射出的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面，/n所述第一反射部件配置成使透过所述第二反射部件的所述入射光入射，使该入射光的一部分在所述第一反射面反射，使该入射光中透过所述第一反射面的光在所述第二反射面反射，/n根据利用在所述第一反射部件的所述第一反射面和所述第二反射部件的所述第二反射面反射的光以及在所述第一反射部件的所述第二反射面和所述第二反射部件的所述第一反射面反射的光形成的干涉条纹的方位，对所述入射光的准直进行评价。/n
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