[发明专利]光学元件的倾斜有效
| 申请号： | 201580042004.9 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106662726B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | B.普尼尼-米特勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学单元，尤其是分段镜单元，其具有光学元件(109)和支撑装置(111)，其中，光学元件(109)具有尤其是长条形的光学表面(109.1)，所述光学表面定义主延伸平面(PME)和在主延伸平面(PME)中的主延伸方向。支撑装置(111)包括支撑单元和促动器单元(113)，其中，促动器单元(113)设计用于使光学表面倾斜，方式为通过促动器单元(113)在光学元件(109)上施加倾斜力矩(M1)，其中，倾斜力矩(M1)倾斜于主延伸平面(PME)地延伸。支撑单元(112)设计用于在光学表面由于促动器单元(113)的倾斜力矩(M1)倾斜时预设用于光学表面(109.1)的倾斜轴线(TA1、TA2)，所述倾斜轴线基本上处于光学表面的主延伸平面(PME)中。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 倾斜 | ||
【主权项】：
一种光学单元，尤其是分段镜单元，具有‑光学元件(109；209)和‑支撑装置(111)，其中，‑光学元件(109；209)具有尤其是长条形的光学表面(109.1；209.1)，所述光学表面定义主延伸平面(PME)和在主延伸平面(PME)中的主延伸方向，‑支撑装置(111)包括支撑单元和促动器单元(113)，‑促动器单元(113)设计用于使光学表面倾斜，方式为通过促动器单元(113)在光学元件(109；209)上施加倾斜力矩(M1)，其特征在于，‑倾斜力矩(M1)倾斜于主延伸平面(PME)地延伸并且‑支撑单元(112；212)设计用于在光学表面由于促动器单元(113)的倾斜力矩(M1)倾斜时预设用于光学表面(109.1；209.1)的倾斜轴线(TA1、TA2)，所述倾斜轴线基本上处于光学表面的主延伸平面(PME)中。
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