[发明专利]银键合线及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201580045132.9 申请日: 2015-06-29
公开(公告)号: CN106663642B 公开(公告)日: 2019-08-09
发明(设计)人: 金基镐;卓容德;康一太;金炳吉;金泰烨 申请(专利权)人: 贺利氏德国有限两合公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L23/49
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张华;李炳爱
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 提供键合线和制造键合线的方法。该键合线包含90.0至99.0重量%的银(Ag);0.2至2.0重量%的金(Au);0.2至4.0重量%的钯(Pd)、铂(Pt)或铑(Rh)或其组合;10至1000 ppm的掺杂剂;和不可避免的杂质,其中(a)/(b)的比率为3至5。(a)是指在线纵向上的晶体取向中具有<100>取向的晶粒的量,且(b)是指在线纵向上的晶体取向中具有<111>取向的晶粒的量。
搜索关键词: 银键合线 及其 制造 方法
【主权项】:
1.键合线,其包含:90.0至99.0重量%的银(Ag);0.2至2.0重量%的金(Au);0.2至4.0重量%的钯(Pd)、铂(Pt)或铑(Rh)或其组合;10至1000 ppm的掺杂剂;和不可避免的杂质,其中(a)/(b)的比率为3至5:(a)是指在线纵向上的晶体取向<hkl>中具有<100>取向的晶粒的量,且(b)是指在线纵向上的晶体取向<hkl>中具有<111>取向的晶粒的量,其中在所述线的最终拉制步骤之前,所述线暴露在中间退火步骤中,其中所述中间退火步骤包括第一分批中间退火步骤;第二连续中间退火步骤和第三连续中间退火步骤,且其中第一中间退火步骤在400至800℃下进行50至150分钟并包括将所述线冷却50至150分钟的步骤。
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