[发明专利]极紫外（EUV）辐射源在审
| 申请号： | 201580047065.4 | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN106605450A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | V·V·德什潘德;S·V·德什潘德;D·克利斯;O·格鲁申克夫;S·克里什南 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 酆迅;董典红 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 极紫外(EUV)辐射源粒料(8)包括至少一个金属颗粒(30)，该至少一个金属颗粒嵌入在重惰性气体团簇(20)内，该重惰性气体团簇包含在惰性气体壳团簇(10)内。EUV辐射源组件可以通过至少一个第一激光脉冲和至少一个第二激光脉冲的顺序照射得以激活。每个第一激光脉冲通过从至少一个金属颗粒(30)分离外轨道电子并将电子释放到重惰性气体团簇(20)中而产生等离子体。每个第二激光脉冲放大嵌入在重惰性气体团簇(20)中的等离子体，触发激光驱动的自放大过程。经放大的等离子体引发重惰性气体和其他构成原子中的轨道间电子跃迁，导致EUV辐射的发射。激光脉冲单元可以与源粒料产生单元组合以形成集成的EUV源系统。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 euv 辐射源 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生极紫外(EUV)辐射的装置，所述装置包括：极紫外(EUV)辐射源粒料产生器，被配置为产生EUV辐射粒料，所述EUV辐射粒料包含：至少一个金属颗粒；重惰性气体团簇，被嵌入有所述至少一个金属颗粒；以及惰性气体壳团簇，被嵌入有所述重惰性气体团簇并且包含选自He、Ne和Ar的轻惰性气体的团簇；以及至少一个照射源，其中所述至少一个照射源中的每个照射源被配置成朝着所述EUV辐射粒料的路径来照射激光束。
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