[发明专利]磁盘用基板的制造方法和磁盘用基板在审
| 申请号： | 201580047901.9 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN106605264A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 俵义浩 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 磁盘用基板的制造方法包括下述研磨处理，即，用一对研磨垫夹持基板，向上述研磨垫与上述基板之间供给包含电介质材料的研磨磨粒的浆料，使上述研磨垫与上述基板相对滑动，由此对上述基板的两主表面进行研磨。在上述研磨处理前，对上述研磨磨粒实施除去处理，即，上述浆料在由电极形状而产生的电场强度不均匀的交流电场中通过，利用介电电泳将上述浆料中存在的异物与研磨磨粒分离，除去异物。 | ||
| 搜索关键词： | 磁盘 用基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种磁盘用基板的制造方法，其特征在于，该磁盘用基板的制造方法包括下述研磨处理，即，用一对研磨垫夹持基板，向所述研磨垫与所述基板之间供给包含电介质材料的研磨磨粒的浆料，使所述研磨垫与所述基板相对滑动，由此对所述基板的两主表面进行研磨，在所述研磨处理前，进行除去处理，即，所述浆料在由电极形状而产生的电场强度的分布不均匀的交流电场中通过，利用介电电泳将所述浆料中存在的异物与研磨磨粒分离，除去异物。
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