[发明专利]离子过滤器以及其制造方法有效
| 申请号： | 201580049701.7 | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN107078017B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 荒井大辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社藤仓 |
| 主分类号： | H01J47/06 | 分类号： | H01J47/06;G01T1/18;H01J1/46;H01J9/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及离子过滤器以及其制造方法。构成为具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层(13)、和沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔30，并使第一导电层(12)的第一厚度(th1)和第二导电层(13)的第二厚度(th2)不同。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 过滤器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子过滤器，是使用于电子放大器的离子过滤器，具有：绝缘性基材；第一导电层，形成在上述绝缘性基材的一个主面上；第二导电层，形成在上述绝缘性基材的另一主面上；以及多个贯通孔，沿着上述绝缘性基材的厚度方向而形成，上述绝缘性基材的一个主面被配置于上述电子放大器中的电子的移动方向的下游侧，上述绝缘性基材的另一主面被配置于上述电子放大器中的电子的移动方向的上游侧，形成在上述绝缘性基材的一个主面上的上述第一导电层的第一厚度比上述第二导电层的第二厚度厚，通过使形成在上述绝缘性基材的一个主面上的上述第一导电层和形成在上述绝缘性基材的另一主面上的上述第二导电层的施加电压反转，来阻止反馈的阳离子。
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