[发明专利]基板搬送方法和处理系统

摘要

提供一种基板搬送方法，使用具有第一拾取器和第二拾取器的搬送机构在热处理室与不同于该热处理室的其他室之间依次搬送基板，所述基板搬送方法包括：第一步骤，将未处理的基板保持在所述第一拾取器上，搬送至所述热处理室；第二步骤，将在所述热处理室中热处理过的处理后基板保持在所述第二拾取器上并将所述第一拾取器所保持的未处理的基板搬入所述热处理室；第三步骤，将保持在所述第二拾取器上的处理后基板搬送至所述其他室；和第四步骤，将所述其他室内的未处理的基板保持在所述第一拾取器中，在将所述第二拾取器所保持的处理后基板搬入到所述其他室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成为未保持基板的状态。

主权项

1.一种基板搬送方法，其使用具有第一拾取器和第二拾取器的搬送机构在热处理室和不同于该热处理室的其他的室之间依次搬送基板，所述基板搬送方法的特征在于，包括：/n第一步骤，将未处理的基板保持在所述第一拾取器上，搬送至所述热处理室；/n第二步骤，将在所述热处理室中被热处理过的处理后基板保持在所述第二拾取器上，并将其从所述热处理室搬出，并且将所述第一拾取器所保持的未处理的基板搬入所述热处理室；/n第三步骤，将保持在所述第二拾取器上的所述处理后基板搬送至所述其他的室；/n第四步骤，将所述其他的室内的未处理的基板保持在所述第一拾取器上，在将所述第二拾取器所保持的处理后基板搬入到所述其他的室之后，使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成为不保持基板的状态；和/n第五步骤，在所述第四步骤后，将未处理的基板保持在所述第二拾取器上，在所述第一拾取器和所述第二拾取器之间切换保持未处理的基板和处理后基板的拾取器，/n在所述第四步骤中，将所述第一拾取器所保持的未处理的基板暂时载置在缓冲机构，由此使所述第一拾取器和所述第二拾取器均成为不保持基板的状态。/n