[发明专利]试样保持装置、太阳能电池的制造方法及太阳能电池模块的制造方法

摘要

提供一种不会对半导体基板(10)等试样造成损伤的试样保持装置。本实施方式的试样保持装置(1)为伯努利卡盘，由主体部(2)和定位部件(3)构成。定位部件(3)为立体的部件，比试样保持面(5)更向下侧突出的有效部分(M)由内向面(A)、朝向外侧(与试样保持面(5)相反的相反侧)的外向面(B)、将内向面(A)和外向面(B)相连且与试样保持面(5)平行地扩展的向下面(C)、将内向面(A)、外向面(B)及向下面(C)相连的侧面(D)围成。定位部件(3)没有带棱角的部分。

主权项

一种试样保持装置，将具备半导体基板的太阳能电池的半成品设为需保持并抬起的试样，具有与所述试样相对的试样保持面，在所述试样保持面与试样之间流过气体从而产生负压，通过该负压将试样吸引到试样保持面侧，在与试样保持面接近的位置对试样进行保持，其特征在于，具有阻止试样向试样保持面的面方向移动的定位部件，所述定位部件设于所述试样保持面的周部，所述定位部件具有在保持了试样的状态时或在试样偏移时与试样的一部分接触的接触部，其中，如下的部位带有圆弧或为倒角形状：(1)接触部或与接触部平缓地连续的部位的距试样保持面远的一侧的端部；(2)在接触部的背面侧具有外向部，该外向部的前端侧的端部。