[发明专利]蓝宝石板用研磨液组合物有效
| 申请号： | 201580051084.4 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN107075345B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 吉野太基 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的蓝宝石板用研磨液组合物含有二氧化硅粒子、选自正磷酸盐、亚磷酸盐及次磷酸盐中的1种以上的无机磷酸盐化合物以及水系介质，且25℃时的pH为8以上。上述无机磷酸盐化合物优选为选自正磷酸盐、亚磷酸盐及次磷酸盐中的1种以上的无机磷酸盐化合物。本发明的蓝宝石板的制造方法的一例包括：对被研磨蓝宝石板供给上述蓝宝石板用研磨液组合物，对上述被研磨蓝宝石板进行研磨的工序。本发明的被研磨蓝宝石板的研磨方法的一例包括：对被研磨蓝宝石板供给上述蓝宝石板用研磨液组合物，对上述被研磨蓝宝石板进行研磨的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石板用研磨液组合物，其含有二氧化硅粒子、选自亚磷酸钠、次磷酸钠及次磷酸铵中的1种以上的无机磷酸盐化合物、以及水系介质，且25℃时的pH为8以上，所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述无机磷酸盐化合物的含量为1质量ppm以上且5000质量ppm以下，所述蓝宝石板用研磨液组合物中的所述二氧化硅粒子的含量以SiO2换算浓度计为1质量％以上且40质量％以下。
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