[发明专利]过程窗口识别符有效
| 申请号： | 201580051126.4 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN107077077B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈钢;约瑟夫·W·德沃克特;杜月林;李万宇;卢彦文 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本公开是计算机执行的方法，用于为器件制造过程确定设计布局的一部分上的感兴趣的区域的重叠过程窗口(OPW)，所述器件制造过程用于在衬底上成像所述部分，所述方法包括：获得所述感兴趣的区域中的多个特征；获得所述器件制造过程的一个或多个处理参数的多个值；确定所述器件制造过程在所述多个值中的每一个值的条件下成像所述多个特征时缺陷的存在、缺陷存在的可能性或二者；以及根据所述缺陷的存在、缺陷存在的可能性或二者，确定所述感兴趣的区域的所述重叠过程窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 过程 窗口 识别 | ||
【主权项】：
1.一种计算机执行的方法，用于为器件制造过程确定设计布局的部分上的感兴趣的区域的重叠过程窗口(OPW)，所述器件制造过程用于在衬底上成像所述部分，所述方法包括：获得所述感兴趣的区域中的多个特征；获得所述器件制造过程的一个或多个处理参数的多个值；确定所述器件制造过程在所述多个值中的每一个值的条件下成像所述多个特征时缺陷的存在、缺陷存在的可能性或二者；以及根据所述缺陷的存在、缺陷存在的可能性或二者，确定所述感兴趣的区域的所述重叠过程窗口。
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