[发明专利]引线框制造用曝光装置在审
| 申请号： | 201580051377.2 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN106796403A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李海泆 | 申请（专利权）人： | 普瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L23/495 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 姜虎,陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够防止因以玻璃材质构成的第一及第二掩模(21、22)下垂而发生误差的新结构的引线框制造用曝光装置。本发明的引线框制造用曝光装置中，所述第一及第二掩模(21、22)沿上下方向延伸设置，所述铜板(1)被配置成，其中间部经过所述主体(10)设置的导向辊(41、42、43、44)的外周面，并穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部。因此，具有的优点是，能够防止以玻璃面板构成的第一及第二掩模(21、22)因自重而向下侧下垂，当利用所述照明单元(30)照射光线而使涂敷于铜板(1)两侧面的感光膜感光时发生误差，从而导致最终生产的引线框发生不良的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 引线 制造 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种引线框制造用曝光装置，包括：主体(10)，其设置于两面涂覆有感光膜的铜板(1)的移送路径的中间部；第一及第二掩模(21、22)，其以接近所述铜板(1)两面的方式设置于所述主体(10)；照明单元(30)，其通过所述第一及第二掩模(21、22)向所述铜板(1)的两面照射光线，以使涂覆于所述铜板(1)的感光膜感光，其特征在于，所述第一及第二掩模(21、22)设置成沿上下方向延伸，所述铜板(1)被配置成，其中间部经过设置于所述主体(10)的导向辊(41、42、43、44)外周面，并穿过所述第一及第二掩模(21、22)之间的空间部。
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