[发明专利]支承玻璃基板及其制造方法在审
| 申请号： | 201580053414.3 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN107074610A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 片山裕贵 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03B29/06 | 分类号： | C03B29/06;C03B17/06;C03C19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的技术的课题在于通过发明出适合支承供于高密度布线的加工基板的支承玻璃基板及其制造方法而有助于半导体封装体的高密度化。本发明的支承玻璃基板，其特征在于，其在从室温以5℃/分钟的速度升温至400℃并在400℃保持5小时后，再以5℃/分钟的速度降温至室温时，热收缩率为20ppm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 支承 玻璃 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种支承玻璃基板，其特征在于，其在从室温以5℃/分钟的速度升温至400℃并在400℃保持5小时后，再以5℃/分钟的速度降温至室温时，热收缩率为20ppm以下。
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