[发明专利]用于分集化及缺陷发现的动态分格

摘要

本发明提供用于产生晶片的缺陷样本的方法及系统。一种方法包含将在晶片上检测的缺陷分离到若干分格中，所述分格在所述缺陷的一或多个第一属性的第一集合的值上具有分集。所述方法还包含基于所述缺陷的一或多个第二属性的第二集合中的分集而从所述分格中的一或多者独立地选择所述分格内的缺陷。接着，使用所述选定缺陷来创建所述晶片的缺陷样本。以此方式，可容易地选择具有多个属性的分集化值的缺陷。

主权项

1.一种用于产生晶片的缺陷样本的计算机实施的方法，其包括：获取所述晶片的检验结果，其中所述检验结果包括通过检验过程而在所述晶片上检测的缺陷的信息，且其中所述信息至少包括所述缺陷的一或多个第一属性的第一集合及所述缺陷的一或多个第二属性的第二集合的信息；识别所述一或多个第一属性的在所述一或多个第一属性的值中具有最大分集的值；基于所识别值而产生用于所述缺陷的分格的集合，使得所述分格中的每一者对应于所述所识别值的仅一部分且使得对应于所述分格的值在所述一或多个第一属性上具有分集，其中产生所述分格的集合不包括对所述缺陷取样，其中所述分格的集合在所述一或多个第一属性上的分集化由所述集合中分格的数目控制，且其中所述集合中分格的所述数目在产生步骤之前从用户接收；基于对应于所述缺陷的所述一或多个第一属性的值而将所述缺陷分离到所述分格中，其中直到所述分格的集合产生后才执行将所述缺陷分离到所述分格中；基于所述一或多个第二属性的值的分集而从所述分格中的一者选择所述分格中的所述一者内的缺陷；针对所述分格中的至少一者重复所述选择；及针对所述晶片创建包括选自所述分格中的所述一者及所述分格中的所述至少另一者的所述缺陷的缺陷样本，其中由计算机系统执行所述获取、所述识别、所述产生、所述分离、所述选择、所述重复及所述创建。