[发明专利]具有应力消除结构的探针卡有效
| 申请号： | 201580058918.4 | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN107110890B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 约翰·L·戴克李;威廉·A·芬克 | 申请（专利权）人： | 塞莱敦体系股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 阳开亮 |
| 地址： | 美国明尼苏达州553*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种探针卡组件。所述探针卡组件包括探针卡板、探针芯和限定在所述探针卡板中的膨胀隙。所述探针芯包括用于将所述探针芯固定至所述探针板上的粘接部。所述膨胀隙环绕所述探针芯。本发明公开另一探针卡组件。所述另一探针卡组件包括探针卡板、管状部和探针芯。所述管状部设置成插入至所述探针卡板的开口中并且设置成牢固地固定至所述探针卡板上。所述探针芯包括用于将所述探针芯固定至所述管状部上的粘接部。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 消除 结构 探针 | ||
【主权项】：
一种探针卡组件，包括：探针卡板；探针芯，其中所述探针芯包括用于将所述探针芯固定至所述探针板上的粘接部；以及膨胀隙，所述膨胀隙限定在所述探针卡板中，其中所述膨胀隙环绕所述探针芯。
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