[发明专利]研磨装置以及研磨方法有效
申请号: | 201580064110.7 | 申请日: | 2015-10-29 |
公开(公告)号: | CN107000163B | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 前田和良;涩谷纪仁 | 申请(专利权)人: | 新东工业株式会社 |
主分类号: | B24C5/00 | 分类号: | B24C5/00;B24C3/26;B24C3/32;B24C9/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;青炜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 研磨方法包括:准备包括加工部件及产生吸引力的吸引机构的研磨装置的工序;将工件设置在加工部件的工序;以及利用由吸引机构的动作产生的气流,使朝向工件投入的研磨材料加速至规定的速度,并且使该研磨材料与该工件接触或碰撞从而对该工件进行研磨的工序。 | ||
搜索关键词: | 研磨 加工部件 吸引机构 研磨材料 研磨装置 动作产生 工件接触 工件设置 | ||
【主权项】:
1.一种研磨方法,其中,包括:准备包括加工部件、研磨材料供给机构以及产生吸引力的吸引机构的研磨装置的工序;将工件设置在所述加工部件的工序;利用所述研磨材料供给机构朝向所述工件以自由落体的方式投入所述研磨材料的工序;以及利用由所述吸引机构的动作产生的气流,使朝向所述工件投入的研磨材料加速至规定的速度,并且使所述研磨材料与所述工件接触或碰撞从而对所述工件进行研磨的工序,研磨材料在所述研磨材料有助于对所述工件进行研磨的空间中的占有比例为3~20体积%。
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