[发明专利]环境受控的涂层系统

摘要

根据本教导的封闭涂层系统的实施例能够用于在宽范围的技术领域中制造各种设备和装置的基板图案化区域涂层，例如但不限于，OLED显示器、OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路。本教导的封闭和环境受控涂层系统能够提供多个优点，例如，1）省去一定范围的真空处理操作，这种基于涂层的制造可以在大气压力下执行，2）受控图案化涂层消除了材料浪费以及消除了实现有机层的图案化通常需要的附加处理，3）用本教导的封闭涂层设备的各个实施例来图案化涂层所使用的各种制剂可以具有宽范围的物理属性，例如粘度和表面张力。

主权项

一种用于在基板上提供涂层的方法，包括：在有机薄膜涂层系统的输送模块中接收基板；将基板输送给封闭涂层模块，所述封闭涂层模块配置成在基板上制造的电子装置的至少一部分上的沉积区域中沉积图案化有机材料层；使用基板支撑设备在封闭涂层模块中一致地支撑基板，所述基板支撑设备在基板和基板支撑设备之间建立气垫；使用封闭涂层模块在基板的沉积区域上涂层有机材料，同时用基板支撑设备一致地支撑基板；将基板从封闭涂层模块输送给输送模块；将基板从输送模块输送给封闭固化模块；以及在封闭固化模块中处理基板上的沉积有机材料，以在基板的沉积区域中提供有机膜层。