[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201580065289.8 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN107003607B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 竹田佳代;畑中真 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08F220/06;G03F7/004;G03F7/075;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/22 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 孙丽梅;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供下述正型感光性树脂组合物：其能够在维持显影时的密合性的状态下以高灵敏度进行图案形成，能够形成图案内残渣少的固化膜。本发明的解决方法是含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)溶剂的正型感光性树脂组合物。(A)成分：使下述(A1)～(A4)共聚而得的碱溶性丙烯酸系共聚物，(A1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐，(A2)具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体，(A3)具有羟基烷基和聚合性不饱和基团的单体，(A4)N取代马来酰亚胺化合物；(B)成分：1,2‑醌重氮化合物，(C)成分：交联剂，(D)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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