[发明专利]脆性衬底的分断方法有效
| 申请号： | 201580065513.3 | 申请日： | 2015-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN107001103B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 曾山浩 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/023 | 分类号： | C03B33/023;B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勋 |
| 地址： | 日本国大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过使刀尖(51)在上表面(SF1)上移动而产生塑性变形，由此形成沟槽线(TL)。形成沟槽线(TL)的步骤是以能够获得无裂纹状态的方式进行。形成沟槽线(TL)的步骤包含形成低负荷区间(LR)及高负荷区间(HR)的步骤。在形成高负荷区间(HR)的步骤中对刀尖(51)施加的负荷，高于在形成低负荷区间(LR)的步骤使用的负荷。通过使裂纹仅在沟槽线(TL)中高负荷区间(HR)伸展，而沿沟槽线(TL)的一部分形成裂纹线。沿沟槽线(TL)分断玻璃衬底(11)。分断玻璃衬底(11)的步骤包含以裂纹线为起点沿低负荷区间(LR)使裂纹伸展的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 沟槽线 低负荷 高负荷 衬底 分断 刀尖 裂纹线 伸展 脆性 玻璃 塑性变形 上表面 上移动 施加 | ||
【主权项】：
1.一种脆性衬底的分断方法，包含：准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有第1面及与所述第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及通过一面将刀尖向所述脆性衬底的第1面上按压，一面使所述刀尖在所述第1面上移动而在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，由此形成沟槽线的步骤；且形成所述沟槽线的步骤以能够获得所述脆性衬底在所述沟槽线的正下方处在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态即无裂纹状态的方式进行，且形成所述沟槽线的步骤包含：形成作为沟槽线的一部分的低负荷区间的步骤；及形成作为沟槽线的一部分的高负荷区间的步骤；且在形成所述高负荷区间的步骤中对所述刀尖施加的负荷，高于在形成所述低负荷区间的步骤使用的负荷，该脆性衬底的分断方法进而包含：通过使所述厚度方向的所述脆性衬底的裂纹沿所述沟槽线仅在所述沟槽线中的所述高负荷区间伸展，而沿所述沟槽线的一部分形成裂纹线的步骤；及在形成所述裂纹线的步骤后，沿所述沟槽线分断所述脆性衬底的步骤；且分断所述脆性衬底的步骤包含如下步骤，即，通过对所述脆性衬底施加应力而使裂纹以所述裂纹线为起点沿所述低负荷区间伸展。
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