[发明专利]从籽晶结构体分离碳结构体的方法有效
| 申请号： | 201580066125.7 | 申请日： | 2015-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN107001044B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | K.B.K.特奥;A.朱夫雷;J.马塔鲁;S.托马斯 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | C01B32/16 | 分类号： | C01B32/16;C01B32/168;C01B32/186;C01B32/194;C23C16/01;C23C16/26;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及从籽晶结构体(2)分离沉积在该籽晶结构体(2)上的碳结构体(1)例如石墨烯、碳纳米管或半导体纳米线的方法。为了简化碳结构体的制备并且特别地提供用来在进行沉积的处理室内从籽晶结构体分离碳结构体的方法而提出：在CVD反应器的处理室中提供沉积在籽晶结构体(2)上的碳结构体；加热具有籽晶结构体(2)和碳结构体(1)的基底至处理温度；供应具有通式AOmXn、AOmXnYp或AmXn的至少一种蚀刻气体，其中A选自包含S、C、N的元素的组，其中O为氧，其中X、Y为不同的卤素，并且m、n、p为大于零的自然数；通过与所述蚀刻气体的化学反应将籽晶结构体(2)转化成气态的反应产物；借助于载气流移除所述气态的反应产物。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶 结构 分离 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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