[发明专利]在基板上形成的部件的端子检查方法及基板检查装置有效
| 申请号： | 201580066965.3 | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN107003255B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 全桂勋;权达颜 | 申请（专利权）人： | 株式会社高迎科技 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G06T7/00;G01R31/304;G01R31/66 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国首尔市衿川区加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基板检查装置包括投影部、照明部、图像获得部及处理部。投影部向检查对象物照射用于获得检查对象物的三维形状信息的光。照明部向检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光。图像获得部接收从投影部照射并被检查对象物反射的光，从而获得第一图像，接收从照明部照射并被检查对象物反射的光，从而获得第二图像。处理部从获得的第一图像获得亮度信息，从图像获得部获得的第二图像获得色相信息，利用获得的亮度信息及色相信息，获得检查对象物的端子的边界中至少一部分。因此，可以提高检查的准确性及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板上 形成 部件 端子 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社高迎科技，未经株式会社高迎科技许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580066965.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
