[发明专利]用于极紫外源的可变半径反射镜二向色分束器模块

摘要

一种激光产生等离子体极紫外激光源，包括至少一个可变半径反射镜。至少一个可变半径反射镜用于调整主脉冲的在与预脉冲焦面相距指定距离处的光束直径，其中预脉冲将微滴辐射成靶微滴并且主脉冲将靶微滴辐射成等离子体状态以生成极紫外辐射。

主权项

一种极紫外辐射源，包括：微滴发生器，用于提供微滴；至少一个激光源，所述至少一个激光源用于提供预脉冲以辐照所述微滴以便创建靶微滴，所述预脉冲与预脉冲焦面相关联，并且所述至少一个激光源用于提供主脉冲以将所述靶微滴辐照成等离子体状态，所述主脉冲与主脉冲焦面相关联；二向色分裂器模块，用于使所述预脉冲和所述主脉冲聚焦，所述二向色分裂器模块包括至少一个可变半径反射镜；以及控制器，被耦合至所述至少一个可变半径反射镜，以调整所述至少一个可变半径反射镜的曲率半径，从而调整所述预脉冲焦面与所述主脉冲的所述主脉冲焦面之间的距离。