[发明专利]X射线测量设备及其图像重建方法、结构物制造方法

摘要

该图像重建方法包括：通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，在多个不同的前述照射方向，将前述X射线照射前述被测定物，检测在前述多个不同照射方向上穿透前述被测定物的X射线，并且生成多个检测数据，该检测数据有关X射线穿透前述被测定物的强度；从前述多个不同的照射方向给推定结构物，即基于前述被测定物的形状信息推定的形状，照射前述X射线时，推定X射线按前述多个不同的照射方向穿透的强度，并生成多个推定数据；对于前述多个检测数据，使用前述X射线的照射方向相互对应的前述检测数据与前述推定数据，从前述检测数据提取差异数据，该差异数据表示前述推定数据与前述检测数据之间的差异。

主权项

一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，即通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，在多个不同的前述照射方向，将前述X射线照射前述被测定物，检测在前述多个不同照射方向上，穿透前述被测定物的X射线，并且生成多个检测数据，该检测数据有关X射线穿透前述被测定物的强度；从前述多个不同的照射方向，给推定结构物，即基于前述被测定物的形状信息推定的形状，照射前述X射线时，推定X射线按前述多个不同的照射方向穿透的强度，并生成多个推定数据；对于前述多个检测数据，使用前述X射线的照射方向相互对应的前述检测数据与前述推定数据，从前述检测数据提取差异数据，该差异数据表示前述推定数据与前述检测数据之间的差异。