[发明专利]掠入射荧光X射线分析装置和方法有效
| 申请号： | 201580069728.2 | 申请日： | 2015-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN107110798B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 表和彦;山田隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社理学 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘淼 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的掠入射荧光X射线分析装置(1)包括：X射线源(2)；弯曲分光元件(4)，该弯曲分光元件(4)对从X射线源(2)所放射的X射线(3)进行分光，形成汇聚于试样(S)的表面的一定位置(15)的X射线束(5)；狭缝(6)，该狭缝(6)设置于弯曲分光元件(4)和试样(S)之间，具有线状开口(61)；狭缝移动机构(7)，该狭缝移动机构(7)将狭缝(6)移动到与通过线状开口(61)的X射线束(5)相交叉的方向；掠射角设定机构(8)，该掠射角设定机构(8)在通过狭缝移动机构(7)移动狭缝(6)后，将X射线束(5)的掠射角(α)设定在所需的角度；检测器(10)，该检测器(10)测定从照射了X射线束(5)的试样(S)而产生的荧光X射线(9)的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 入射 荧光 射线 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掠入射荧光X射线分析装置，该掠入射荧光X射线分析装置包括：放射X射线的X射线源；弯曲分光元件，该弯曲分光元件对从上述X射线源所放射的X射线进行分光，形成汇聚于试样的表面的一定位置的X射线束；狭缝，该狭缝设置于上述弯曲分光元件和试样之间，具有在聚光角方向限制所通过的上述X射线束的宽度的线状开口；狭缝移动机构，该狭缝移动机构将上述狭缝移动到与通过上述线状开口的上述X射线束相交叉的方向；掠射角设定机构，该掠射角设定机构控制狭缝移动机构，移动狭缝，该掠射角设定机构在通过上述狭缝移动机构移动上述狭缝后，将上述X射线束的掠射角设定在所需的角度；检测器，该检测器测定从照射了上述X射线束的试样而产生的荧光X射线的强度。
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