[发明专利]真空卡盘装置

摘要

本发明涉及一种真空卡盘装置，所述真空卡盘包括真空卡盘构成部和框架，所述真空卡盘构成部使得在腔室所生成的吸入压力能够在吸附部的整体面上均匀地产生，从而能够使得用于实施作业或实验的对象物更加稳定地得到安装，所述框架使得所述真空卡盘构成部以保持作业高度的形式设置的同时，对用于使得真空卡盘构成部驱动的周边装置进行收纳，从而实现为单一的装置，真空卡盘是由吸附部和基底相结合而形成的，使得在腔室所生成的吸入压力能够在吸附部的整体面上均匀地产生，从而能够使得对象物得到更加稳定的安装。

主权项

一种真空卡盘装置，真空卡盘是由吸附部(10)和基底(20)相结合而形成的，所述吸附部(10)为了使得对象物得到吸附并支撑而由多孔材料形成，所述基底(20)与所述吸附部(10)相结合，从而通过吸附部(10)产生吸入压力，所述真空卡盘装置的特征在于，包括：真空卡盘构成部(40)，其基底(20)形成有在内部用于形成真空的腔室(21)，并且在所述腔室(21)的内侧形成多个支撑架(30)，所述多个支撑架(30)能够支撑吸附部(10)，所述基底(20)的至少任意一侧形成有吸入孔(23)，所述吸入孔(23)用于能够在腔室(21)内部生成吸入压力；框架(50)，其为了使得所述真空卡盘构成部(40)保持用于实施作业的高度，在上部安装有真空卡盘构成部(40)，并且在真空卡盘构成部(40)的下侧形成有收纳空间(S)，所述收纳空间(S)收纳用于使得真空卡盘构成部(40)驱动的设备。